镭测科技双折射双频激光器及干涉仪的关键和全链条技术入选中国光学产业技术

      激光干涉仪是当今纳米时代的长度基准，也是先进制造业（机床、光刻机，航空、航天等）制造精度的保证。激光干涉仪的“激光"是HeNe激光器。镭测科技研究成了“可伐-玻璃组装式"结构的HeNe激光器，终结了我国靠玻璃吹制HeNe激光器的历史。这一长期坚持的研究打通了单频氦氖激光器→双折射双频激光器→双频激光干涉仪的全技术链条，批产，获得了广泛认可。双频激光器和干涉仪已在北京镭测科技有限公司批产，并在国内、德国、韩国等得到广泛应用。

    双折射双频激光器不仅用于国产双频激光干涉仪，也用于运行中的光刻机的年度替换。同时，提供了科研单位的科学研究。该激光器替换进口正在服役的光刻机的原有激光器，使光刻机机台误差由24 nm下降到6 nm。中国计量学院测试表明，此双频激光干涉仪测量70 m长度误差小于5 μm，非线性误差小于1 nm。

来源：光电汇OESHOW