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激光干涉仪用于平面度测量

更新时间:2026-07-16 点击次数:31

1、平面度

    平面测量是在角度测量的基础上做的延伸,利用角度测量的附件记录下一系列平面位置角度,转化为高度的变化,按照对角线的方法测量出平台上不同位置的高度变化值,就可以得到整个平台的平面度。

激光干涉仪用于平面度测量

2、平面度测量用组件

      平面度测量用到的激光干涉仪组件:
       激光干涉仪测头、角度测量光学镜组、平面度测量组件、Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件

3、平面度测量应用

      测量坐标测量机台面以及各种平板的表面形状。

我们致力于以核心测量技术,提升制造业生产力与前沿科研水平,主营业务包括高精度激光测量仪器、设备的研发制造,以及为客户提供全链条技术解决方案。


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