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位移传感器
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这款“纳米测尺”激光位移传感器,提出并应用激光器自感原理,兼具厘米级量程与5nm分辨率。具备内生自校准特性,无需外部标定,长期稳定。广泛应用于半导体、数控机床及航空航天等精密制造领域。
2026-07-16
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