激光干涉仪用于角度测量

1、角度测量原理

     角度测量需要角度干涉镜和角度反射镜，并且角度反射镜和角度干涉镜必须有一个相对旋转。相对旋转后，会导致角度测量的两束光的光程差发生变化，而光程差的变化会被激光干涉仪探测器探测出来，由软件将线性位置的变化转换为角度的变化显示出来。激光干涉仪角度镜能实现±10°以内的角度精密测量。

2、角度测量用组件

角度测量需要角度干涉镜和角度反射镜，并且角度反射镜和角度干涉镜必须有一个相对旋转。相对旋转后，会导致角度测量的两束光的光程差发生变化，而光程差的变化会被激光干涉仪探测器探测出来，由软件将线性位置的变化转换为角度的变化显示出来。激光干涉仪角度镜能实现±10°以内的角度精密测量。

角度测量用到的激光干涉仪组件：

     激光干涉仪测头、角度测量光学镜组、Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件。

3、角度测量应用

三坐标测量机校准

    倾斜工作台 / 准直平台测量（切片机/校正机等）

    XY工作台的俯仰和扭摆评估（印刷电路板钻床、LCD校正机等）