激光干涉仪用于平行度测量

1、平行度测量原理
     平行度测量由两组直线度测量组成，两次测量都以直线度反射镜的光学轴为参考基准。需要说明的是，要得到两轴的平行度，要在两个正交平面内沿每个要被比较的轴测量直线度。因此，平行度或平行线测量实际是四次直线度测量，每次的步骤和方法同测量直线度一样，如下图所示。

2、数据采集和处理
     按照上面的分析，平行度测量分成正交平面内的两次直线度测量，在同一个面内的测量分两步：第一步测量其中一轴的直线度，其方法跟直线度测量一样；第二步测量另一轴的直线度。每次测量后均把以共同反射镜为参考基准所采集的直线度数据保存。最后根据上述四个直线度测量结果，计算得到两轴之间的平行度或平行线误差。
3、平行度测量用组件
     平行度测量用到的激光干涉仪组件：
     激光干涉仪测头、测量附件、垂直度测量光学镜组、Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件。
4、垂直度测量应用
      数控机床/坐标测量机Ｘ、Ｙ轴上多导轨平行度
      两导轨的平行度
      回转轴的平行度测量，确定旋转轴线和直线轴之间的角度关系，对于车床尤为重要。