激光干涉仪用于垂直度测量

1、垂直度测量原理
      垂直度测量的主要采用同一个测量基准轴对两个标称正交坐标中的每一个轴测量直线度。对两个直线度测量值进行比较，算出两个轴之间的垂直度。共同的参考基准是直线度反射镜的光学基准轴。需要注意的是，两次测量直线度之间既不移动也不调整。两次直线度测量过程中至少一次用到光学直角尺，用于将激光光束调整到与待测轴垂直。实际测量方法可以参考下图：

2、测量步骤和数据处理
测量分两步：第一步测量其中一轴的直线度，其方法跟直线度测量一样；第二步测量另一轴的直线度，同样的方法；最后根据上述两个直线度测量结果，计算得到两轴之间的垂直度误差。
3、垂直度测量用组件
垂直度测量用到的激光干涉仪组件：
激光干涉仪测头、直线度光学镜组、直线度测量附件、Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件。
4、垂直度测量应用
数控机床/坐标测量机主轴垂直度误差测量
机床X、Y轴垂直度对准
坐标机上垂直轴和水平轴之间的垂直度测量