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LS600 单频激光干涉仪
【简介】

LS600 单频激光干涉仪,采用单频测量技术,技术指标达到或优于国外产品同等水平。

产品型号:
更新时间:2026-07-16
厂商性质:生产厂家
浏览量:52

产品介绍

LS600 单频激光干涉仪

镭测科技推出的LS600单频激光干涉仪采用单频测量技术,技术指标达到或优于国外产品同等水平。通过与不同的光学组件结合,可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测,是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。


LS600 单频激光干涉仪系统组成:

    LS600单频激光头及附件

    LC-2000环境补偿单元

    Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件

    线性位移测量镜组(选配:角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等)

    光学调整附件

    三脚架及其他测量附件


参数:

测量方式

单频

激光稳频精度

±0.05ppm

真空波长

632.99nm

激光功率

>0.5mW

激光光束直径

6 mm

波长补偿精度

±0.5ppm

预热时间

<10分钟

测量长度范围

0-40m

测量精度
 (使用 LC-2000环境补偿器)

±0.5ppm*
 (±0.5μm/m) *

指定精度范围

0℃-40℃

分辨率

1nm

最高测量速度

4m/s

系统测量能力

线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度

接口

内置 USB 通讯端口,无需单独接口

触发脉冲输入


*注:精度值不包括将材料温度归一化为20℃时与其有关的误差



应用案例:

LS600 单频激光干涉仪


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