
产品介绍
LS600 单频激光干涉仪:
镭测科技推出的LS600单频激光干涉仪采用单频测量技术,技术指标达到或优于国外产品同等水平。通过与不同的光学组件结合,可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测,是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。
LS600 单频激光干涉仪系统组成:
LS600单频激光头及附件
LC-2000环境补偿单元
Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件
线性位移测量镜组(选配:角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等)
光学调整附件
三脚架及其他测量附件
参数:
测量方式 | 单频 |
激光稳频精度 | ±0.05ppm |
真空波长 | 632.99nm |
激光功率 | >0.5mW |
激光光束直径 | 6 mm |
波长补偿精度 | ±0.5ppm |
预热时间 | <10分钟 |
测量长度范围 | 0-40m |
测量精度 | ±0.5ppm* |
指定精度范围 | 0℃-40℃ |
分辨率 | 1nm |
最高测量速度 | 4m/s |
系统测量能力 | 线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度 |
接口 | 内置 USB 通讯端口,无需单独接口 |
触发脉冲输入 | 是 |
*注:精度值不包括将材料温度归一化为20℃时与其有关的误差 |
应用案例:

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