激光干涉仪用于直线度测量

1、直线度测量原理
     双频激光测头输出光经过直线度干涉镜，按偏振态被分成两束，以一定角度发散后入射到直线度反射镜。光束从直线度反射镜返回，沿新光路回到直线度干涉镜后，合成一束回到光线接收端，进行干涉测量。
通过检测光路与干涉镜和反射镜之间的横向位移，就可以得到导轨相对于激光光路参考线的直线度误差。直线度可以在水平面或垂直面上进行，这取决于直线度干涉镜和反射镜的布置，如下图所示。

2、数据采集和处理
     数据采集方法：使待测机床轴移动到若干个不同位置（或“目标"），然后测量直线度误差。可以从一个目标位置移动到下一个目标位置时，暂停几秒，在此过程中进行测量。
3、直线度测量用组件
     直线度测量用到的激光干涉仪组件：
     激光干涉仪测头、直线度光学镜组、直线度测量附件、Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件。
4、直线度测量应用
     数控机床/坐标测量机主轴直线度误差测量
     机床/直线电机导轨直线度测量
     机床工作台直线度测量
     动态直线度测量