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PRODUCTS当前位置:首页 产品中心 半导体领域关键尺寸测量 激光器 LH1002双频激光器

产品介绍
LH1002双频激光器采用声光移频技术,频差稳定性高,不受温度与磁场影响,实现长期无漂移测量。出光功率0.5~1.2mW,正交线偏振无需额外起偏,非线性误差小。
多轴分光后光强低至10%仍可稳定采集,支持灵活扩展多镜组测量。波长稳定性优异、预热快,兼顾计量标定与复杂工业现场,适用于实验室及严苛环境。
产品特点:
双频频差:20 MHz ±1600 Hz
光斑直径:3/6mm
工作波长:632.99nm
稳频精度: ±0.02ppm
设备兼容光刻机干涉仪标准安装尺寸与通用数据接口;
测速能力突出,极限测速约 6m/s,适配高速直线电机、晶圆台动态检测;
频差由AOM晶振控制,不受激光管温度、磁场影响,频差稳定性高,长期测量无频漂
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